LD励起Qスイッチ固体レーザー

小型Qスイッチ固体レーザー Explorer

Explorer™は、手のひらサイズで他に類を見ない多彩な可能性を持ったLD励起コンパクトパルスレーザーです。

堅牢なデザインのOEM向けと理科学(CDRH)向け共に、BURST運転モード、ファーストパルスサプレション機能、フレキシブルトリガリングなど多くの機能が搭載され、CE認定、RoHSにも対応しています。

Nd:YLFを媒質とした高エネルギー349nmタイプ、Nd:YVO₄を使用した高出力・高繰返し532nmと355nmタイプ、Nd:YAGを使用した高パルスエネルギー532nmタイプ、532nmには1Wと2Wの高出力モデルがございます。
また新たにNd:YVO₄を媒質とした1064nm IRタイプもラインアップされました。

低ジッター設計により、出力タイミングを要求されるアプリケーションに最適で、従来窒素レーザーが主流に使用されてきた質量分析(MALDI-TOF)、顕微細胞分離(Laser Microdissection)はもちろん、薄膜系太陽電池製造におけるP2、P3層へのスクライビング、半導体ウェハー検査、インナーガラスマーキング、FPD製造関連等種々のアプリケーションへの応用が期待されています。

特長

・手のひらサイズ、DC駆動による超コンパクト設計
・堅牢なデザインのOEM向けおよび理科学(CDRH)バージョン
・高エネルギーのNd:YLFタイプと高出力・高繰返しのVanadateタイプ、高パルスエネルギーのNd:YAGタイプをラインナップ
・BURST運転モード、ファーストパルスサプレッション機能、フレキシブルなトリガリング、各種診断機能等、多彩な機能を搭載
・繰返しに関わらず、一定のエネルギーが得られるE-Pulse機能搭載
・低ジッター設計により出力タイミングを要求されるアプリケーションに最適
・優れたパルス安定性および出力ビーム品質 TEM₀₀、M²<1.3
・低メンテナンスコスト
・CE認定およびRoHS対応
・ガントリー搭載用Hi-FLEXケーブル使用モデルあり

主な仕様

波長	349nm	355nm	532nm			1064nm
レーザー媒体	Nd:YLF	Nd:YVO₄	Nd:YVO₄	Nd:YVO₄	Nd:YAG	Nd:YVO₄
パルスエネルギー *	60µJ /120µJ	―	―	―	＞200µJ	＞50µJ
平均出力 *	―	300mW	1W	E: 2W P: 1.8W	＞2W	＞2.5W
パルス幅(FWHM)	＜5nsec	E: ＜15nsec (50kHz) P: ＜20nsec(100kHz)	E: ＜20nsec (50kHz) P: ＜25nsec(100kHz)	E: ＜20nsec (50kHz) P: ＜25nsec(100kHz)	＜15nsec	＜12nsec
繰返し	シングルショット-5kHz	E: 20 - 60kHz P: 20 -150kHz			シングルショット-60kHz	シングルショット-150kHz
空間モード	TEM₀₀、M²＜1.3

*　Nd:YLFの仕様は繰返し1kHz時、Nd:YAGの仕様は繰返し10kHz時、Nd:YVO₄の仕様は繰返し50kHz時に適用

E: Pulse energy detection
P: Average power measurement

アプリケーション

・太陽電池製造関連
・各種微細加工
・光造形
・質量分析(MALDI-TOF)
・顕微細胞分離(Laser Microdissection)
・半導体ウェハー検査、FPD製造関連
・PIV（流体イメージング、速度分析）
・ガラスマーキング
・メディカルデバイス製造
・LIBS（Laser Induced Breakdown Spectroscopy)など

ダウンロード（PDF）

・Explorer データシート・図面 New! (2012年4月更新)
・レーザー・パワーメーターセレクションガイド
・レーザーを用いたc-Siソーラーセル製造ブローシュア

アプリケーション　インサイト
・Application Insight 002 - a-Siセル・スクライビング（太陽電池製造）